英文网站建站,一级a做爰片视频网站,怎么创立自己的网站,北京网站建设 爱牛所以GEM300标准也随之而来。 在这只是记录一下自己的理解#xff0c;防止忘记。
一个批次作业的控制作业 将单个Carrier作为一个批次进行处理。此示例演示了在简单情况下使用控制作业的简便性。晶圆顺序保持不变#xff0c;将晶圆材料退回到源载体。
#解释Dir消息CJ状态PJ状… 所以GEM300标准也随之而来。 在这只是记录一下自己的理解防止忘记。
一个批次作业的控制作业 将单个Carrier作为一个批次进行处理。此示例演示了在简单情况下使用控制作业的简便性。晶圆顺序保持不变将晶圆材料退回到源载体。
#解释Dir消息CJ状态PJ状态1创建PJH-EPRJobCreateEnh(PRJobIDprj01_04,MtrlCS001,RecIDILD3)No stateNo state2H-EPRJobCreateAck(PRJobID,PRJobStatus)In POOL3请求CJ,材料输出规格保持从源载流器到目标载流器的硅片顺序H-EControlJobCreate(CtrlJobIDcjf01_01,ProcessingCtrlSpec(prj01_04,null,null),MtrlOutSpec(CS001,null,null),MaterialInCS001,StartMethodAUTO)4接收请求H-EControlJobCreateAck(CtrlJobIDcjf01_01,JobStattus)QUEUED5如果没有CJ是SELECTED状态因此新创建的CJ状态立即变换H-E事件(CJSELECTED,CtrlJobIDcjf01_01)SELECTED6CJ指定的Carrier到达LPH-E事件(CARRIERIDREAD,CIDCS001)7设备识别并开始执行CJH-E事件(ControlJobStart,cjf01_01)EXECUTING8CJ启动PJ开始将晶圆装载到腔体中H-E事件(PRJOBSETUP,prj01_04)ACTIVESETUP9晶圆加工开始在晶圆放入腔体后H-E事件(PRJOBPROCESSING,prj01_04)ACTIVEPROCESSING10设备开始将晶圆返回到原载体(目标载体)H-E事件(PROCESSINGCOMPLETE,PRJobprj01_04)ACTIVEPROCESSINGCOMPLETE11Carrier装满晶圆H-E事件(CarrierCompleteCS001)12Host想要拿走CarrierH-ERcommand(CarrierOutCS001)13可以从设备上拿走CarrierH-E事件(ReadtoUnload,CarrierIDCS001,PortID)14H-E事件(PRJOBCOMPLETE,PRJobprj01_04)No state15作业可以在Carrier拿走之前完成H-E事件(ControlJobCompletedcjf01_01,statusOK)COMPLETE
后面再慢慢更新
